质谱检漏仪又是如何实现检漏目的的呢？质谱检漏仪通过其主要部件质谱室，预测维修使不同质量的气体变成离子后在场中彼此分开，并且使用质量的离子在场中聚在一起。人后仅仅使一种气体的离子通过挡板上的狭缝而被接受极接受形成离子流，并且由测量仪器指示出来，而其他离子不能进入狭缝而被该挡板档掉，使其达不到收集极上去。检漏时，如果用该种气体喷吹漏孔，该种气体便通过漏孔进入检漏仪，预测维修使检漏仪中的指示仪表立即灵敏地反应出来，达到了检漏的目的。

测量气体分压力的所有质谱计，如四极质谱计等都可以用于检漏，而且质谱计是检漏范围最宽，用得最广的一种检漏仪器，其中用得最多的是90°C和180℃磁偏转型质谱仪。由于只用氦作示漏气体进行检漏，预测维修所以叫氦质谱检漏仪。这种仪器除灵敏度高外，还具有适应范围广、定位定量准确、无毒、安全、反应速度快等优点

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